全自動掃描電鏡的圖像如何分析？許多人做過掃描電鏡測試，但他們不知道如何分析掃描電鏡圖像。今天，我將簡要介紹如何分析掃描電鏡圖像：
1、全自動掃描電鏡的照片是黑白圖像，分為二次電子圖像和背散射電子圖像。主要用于觀察表面微觀形貌或表面元素的分布。一般來說，二次電子像主要反映樣品表面的微觀形貌，與自然光反射的形貌基本一致。在特殊情況下，需要進(jìn)行比較分析。區(qū)域越亮，原子序數(shù)越高。
2、從表面形貌和電子成像來看，亮區(qū)越高，暗區(qū)越低。非常薄的薄膜，背散射的電子會引起偽影。當(dāng)導(dǎo)電性差時，電子的積累也會導(dǎo)致假像。由于顯示器上的圖像寬度是固定的，只要改變樣品表面電子束的掃描寬度，圖像放大倍數(shù)就可以連續(xù)改變幾倍、十倍甚至數(shù)萬倍。大范圍的放大調(diào)整是掃描電鏡的一個突出優(yōu)點。低倍鏡便于選擇視野和觀察樣品的全貌，而高倍鏡便于觀察某些微區(qū)的精細(xì)形貌和結(jié)構(gòu)。
分析全自動掃描電鏡圖像，不僅需要豐富的知識和經(jīng)驗，而且要注意樣品的質(zhì)量。對樣品有什么要求？我做了如下總結(jié)：
1、對于導(dǎo)電性好、導(dǎo)電性差或不導(dǎo)電的樣品，特別是含有超輕元素（如C、N、O、F）的樣品，要先在樣品表面噴涂碳膜。
2、樣品尺寸：樣品越小越好。特別是在分析非導(dǎo)電樣品時，小樣品可以改善導(dǎo)電性差的影響；大的樣品，會釋放更多的氣體，影響真空度，帶來污染。
3、均勻、有代表性、無磁性、沒有受到污染。
4、粉末樣品：細(xì)小的顆粒可以依靠自身表面的吸附力，用乙醇附著在銅或鋁臺面的表面，具有適當(dāng)?shù)亩逊e厚度，盡量不要使樣品臺的成分受到電子束的激發(fā)。如有必要，可提前檢測粉末樣品的成分。如果有銅或鋁，則應(yīng)相應(yīng)地使用鋁或銅級。應(yīng)將粗顆粒粘在導(dǎo)電膠帶上，并選擇較大的顆粒進(jìn)行EDS分析。但是，無論是細(xì)顆粒還是粗顆粒，在制作EDS時要用壓片機(jī)快速成型。
